FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可(kě)称為(wèi)“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分(fēn)為(wèi)风机模块，下面部分(fēn)為(wèi)过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可(kě)為(wèi)不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，為(wèi)洁净室提供洁净空气。