FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合,也可(kě)称為(wèi)“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端,一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分(fēn)為(wèi)风机模块,下面部分(fēn)為(wèi)过滤器。根据洁净度的要求,过滤器可(kě)為(wèi)不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,為(wèi)洁净室提供洁净空气。
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